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中国科学院微电子***
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公司简介
公司名称:
中国科学院微电子***
所在省份:
北京
成立日期:
注册资金:
少于100万
员工数量:
少于5人
年销售额:
少于100万
主要产品:
固态射频电源,射频电源,自动匹配器,手动匹配器,电子管射频电源
公司简介:
中国科学院微电子***射频电源(RFGenerator)课题组(http:// *域名隐藏* )从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz),1985年研制成功,获得“六五”攻关荣誉***以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。
从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(***02重大专项)资金支持,研发晶体管射频电源,2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(13.56MHz),获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。
经过二十多年的发展完善,产品的性能不断提高,规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。
目前射频电源组分为三个部门:产品研发部,产品生产部,产品推广与售后服务部。
产品研发部:有专业研发人员7人,其中硕士及以上比例100%,具有***级***2人,具有博士***3人,从清华大学,中科院电工所,中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制***3人,目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。
产品生产部:有专业技术工程师17人,具有500平方专业射频电源生产与测试车间(可以进行ESD,EMC等测试),年生产能力达3000台套。
产品推广与售后服务部:有专业推广销售人员4人,专业售后服务人员2人,其中硕士及以上比例100%。
目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有:300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。
射频电源广泛应用于等离子体研究,集成电路工艺设备,太阳能光伏工业,LED制程,薄膜生长,感应加热,医疗领域的消毒与理疗,等离子清洗等领域。
产品现已售往北京、上海、杭州、苏州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的几十所高校、科研单位及半导体设备厂等高技术公司,得到用户的一致好评。
中国科学院微电子*** / 北京 / 北京市朝阳区北土城西路三号 () / 电话:010-82995634
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