中国科学院微电子***射频电源(RFGenerator)课题组(http:// *域名隐藏* )从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功，获得“六五”攻关荣誉***以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。 从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项（***02重大专项）资金支持，研发晶体管射频电源，2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(13.56MHz)，获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。 经过二十多年的发展完善，产品的性能不断提高，规格齐全,年销售电子管与晶体
主要产品/业务: 固态射频电源，射频电源，自动匹配器，手动匹配器，电子管射频电源
